金融界2025年5月5日消息，国家知识产权局信息显示，应用材料公司申请一项名为“应力管理期间全局曲率的校正”的专利，公开号CN119923709A，申请日期为2023年9月。

　　专利摘要显示，本公开案的实施例涉及用于减少基板中的面外畸变（OPD）的技术和装置，以及控制OPD的效果和对基板进行改质以校正OPD对在基板上执行的后续基板处理操作的影响。本发明实施例采用新颖技术来降低基板中的OPD，而无需添加或改质基板的将在后续基板制造工艺中产生问题的部分。